路透社称中国在深圳 2025 年初成功研制出 EUV 原型机，由华为主导，这个项目堪称中国的“曼哈顿计划”

路透社星期四（12 月 18 日）引述两名知情人士的消息报道，中国科学家今年初在深圳的一座最高度保密的实验室，由华为主导发挥关键作用协助全国范围内各企业与科研机构的数千名工程师，包括 ASML 的前华人工程师团队，通过逆向工程已开发成功，正在调试。

这台设备已经可以运作并成功产生极紫外光，理论上可以生产 3nm 以下芯片。